气体类型： 干燥气体（如空气、氮气）：多数泵均可适用。 潮湿气体（含水分、蒸汽）：需选抗凝结型号，如带气镇阀的旋片泵（防止水汽凝结污染泵油）、水环真空泵（本身用水密封，不怕水汽）。 腐蚀性气体（如酸雾、氯气）：需选耐腐蚀材质泵，如氟塑料材质的干式真空泵、或搭配气体捕集装置（如吸附塔）的泵。 易燃易爆气体（如氢气、甲烷）：需选无油真空泵（避免油与气体反应），如涡旋式干式真空泵、隔膜真空泵，且泵体需接地防爆。 含颗粒 / 粉尘气体：需在泵入口加装过滤器，避免颗粒磨损泵腔，可选耐磨材质的罗茨泵或螺杆真空泵。 气体可凝性：若气体含蒸汽（如有机溶剂挥发物），需选带气镇功能的泵（如旋片泵），或前置冷凝器将蒸汽冷凝为液体排除，防止泵内积油或堵塞。 四、泵的性能参数匹配 极限压力：泵的极限压力需低于系统所需的极限真空度（通常预留 1~2 个数量级余量），例如系统需 1Pa 极限真空，泵的极限压力应≤0.1Pa。 抽速曲线：不同泵的抽速随入口压力变化的曲线不同（如罗茨泵在中真空段抽速稳定，扩散泵在高真空段效率高），需确保在工作真空度下泵的抽速满足需求。 前级泵要求：部分高真空泵（如罗茨泵、扩散泵、分子泵）无法单独工作，需搭配前级泵（如旋片泵、水环泵）组成真空机组，需计算前级泵的抽速和极限压力是否匹配主泵。