容积式真空泵：通过周期性地增加和减少泵室容积进行工作，如旋片真空泵，偏心转子旋转时旋片刮擦泵腔，形成吸气 - 压缩 - 排气循环，还有滑阀真空泵等也属于此类146。 动量传输式真空泵：将气体从低压侧输送到高压侧而无需改变泵室容积，典型的如罗茨真空泵，利用两个同步旋转的转子将气体吸入、压缩并排出，罗茨泵在 1000~0.1Pa 范围内，抽速超越前级泵，能增强吸力，形成增压效果236。 蒸汽流真空泵：抽气主要靠气体扩散到无气体高速蒸汽喷嘴，如水蒸气喷射泵，蒸汽通过拉瓦尔喷嘴减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合进行能量交换，混合后的气体进入扩压器减速增压，将动能转化为压强能1。 气体捕集泵：通过冷凝作用或吸附、吸收等方式将气体束缚到固体表面。如低温泵，利用液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板，使气体凝结，保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，达到抽气的作用；还有溅射离子泵，通过空间电子在磁场作用下使气体分子电离，离子飞向阴极溅射钛原子并沉积，产生抽气作用